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青岛杭氧电子气纯氮设备顺利出氮
发布时间: 2022-09-21

来源:杭氧集团

近日,青岛杭氧电子气纯氮设备开车一次成功,顺利产出产品,纯度和产量均达到设计要求。

据悉,该设备配套青岛杭氧电子气大宗气体项目,为青岛芯恩集成电路有限企业提供电子气级别氮气,纯氮设备产品含氧量要求0.1ppm以下,再经过后处理加工,供应业主。本套电子气项目有“爬坡”的特点,用户氮气需求逐渐增加,根据业主要求,纯氮设备具有低负荷、大操作范围的能力,并采用双塔流程提升提取率,降低能耗,操作负荷范围在38%~105%,目前设备运行在40%左右。此外,针对电子气项目保供要求,做了更多可靠性的配置,后备系统在产品管路波动时可自行补气,如遇到纯氮设备跳车,甚至控制系统故障,停水断电,后备系统仍能平稳供气,确保下游工艺的安全。

随着纯氮设备出氮,青岛杭氧电子气项目二阶段设备全面投入使用。

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